制造論壇-制造行業(yè)自己的交流社區(qū)!

標(biāo)題: 干式螺桿真空泵工作原理 [打印本頁]
作者: manwu1211    時(shí)間: 2024-11-4 14:19
標(biāo)題: 干式螺桿真空泵工作原理
干式螺桿真空泵是一種無油潤滑的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化工、制藥等行業(yè)，特別適合處理易燃、易爆、腐蝕性氣體。其工作原理基于一對相互嚙合但不接觸的螺旋形轉(zhuǎn)子（螺桿）的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，具體過程如下：  
進(jìn)氣階段：當(dāng)螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，位于泵入口處的空間體積逐漸增大，形成低壓區(qū)，外界氣體被吸入泵內(nèi)。  
壓縮階段：隨著螺桿繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體被封閉在兩個(gè)螺桿之間的腔室內(nèi)，并沿著螺桿軸向移動(dòng)。在這個(gè)過程中，由于螺桿的嚙合，腔室的體積逐漸減小，氣體被壓縮，壓力升高。  
排氣階段：當(dāng)氣體被壓縮至足夠高的壓力時(shí)，到達(dá)泵的出口位置，此時(shí)出口處的閥門開啟（對于無閥設(shè)計(jì)的泵，則是自然流出），被壓縮的氣體被排出泵外，完成一個(gè)工作循環(huán)。  
干式螺桿真空泵的關(guān)鍵特點(diǎn)是其內(nèi)部無油操作，因此不會(huì)污染被抽氣體，同時(shí)具有較高的抽速和較低的極限壓力，能有效處理各種復(fù)雜工況下的氣體。此外，干式螺桿真空泵還具有結(jié)構(gòu)緊湊、運(yùn)行平穩(wěn)、維護(hù)簡便等優(yōu)點(diǎn)。
作者: 收件箱    時(shí)間: 2024-11-4 14:26
謝謝你的見解，讓我對這個(gè)問題有了新的理解。
作者: 李小狼    時(shí)間: 2024-11-21 19:19
樓主的帖子總是這么精彩，每次都不會(huì)錯(cuò)過。
作者: 點(diǎn)擊123    時(shí)間: 2025-10-27 06:48
這篇文章的邏輯性很強(qiáng)，讓人一目了然，很有啟發(fā)性。



歡迎光臨 制造論壇-制造行業(yè)自己的交流社區(qū)! (http://www.0591mm.cn/) Powered by Discuz! X3.5