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• 擴(kuò)散泵（Diffusion Pump）：
  
• 工作原理：擴(kuò)散泵通過(guò)將工作液體（通常是潤(rùn)滑油）加熱到高溫，使其蒸發(fā)并噴射到泵的噴嘴中。噴射的分子會(huì)沿著噴射方向迅速移動(dòng)并把氣體分子擊退，從而提高真空系統(tǒng)的抽取效率。被抽取的氣體分子被推向泵的壁上并被冷卻的工作液體重新吸收。這種過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)在相對(duì)較高的真空水平下工作。
  
• 旋片泵（Rotary Vane Pump）：
  
• 工作原理：旋片泵使用旋轉(zhuǎn)的偏心轉(zhuǎn)子和固定的偏心殼體來(lái)抽取氣體。轉(zhuǎn)子內(nèi)部有凸緣，隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，凸緣與偏心殼體之間的容積不斷變化，從而使氣體被吸入并排出。旋片泵通常用于中等真空范圍內(nèi)，可以提供可靠的性能和較高的抽氣速度。
  
• 根式泵（Roots Pump）：
  
• 工作原理：根式泵由兩個(gè)嚙合的螺桿（稱為“根葉片”）構(gòu)成，它們以高速旋轉(zhuǎn)。當(dāng)一個(gè)根葉片吸入氣體，另一個(gè)則排出氣體。這種泵可以實(shí)現(xiàn)高抽氣速度，通常用于大氣壓到低真空范圍。
  
• 離心泵（Centrifugal Pump）：
  
• 工作原理：離心泵通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的葉輪將氣體甩到泵壁上，從而形成真空。它的抽氣速度通常較低，適用于中等到低真空條件。
  
• 吸附泵（Adsorption Pump）：
  
• 工作原理：吸附泵使用吸附劑（如固體表面或活性材料）吸附氣體分子，從而將氣體從真空系統(tǒng)中移除。這種泵常用于低真空條件下，如超高真空系統(tǒng)的預(yù)抽階段。