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標(biāo)題:
半導(dǎo)體烘箱的維護(hù)工作
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作者:
乾潮制造
時(shí)間:
2025-5-28 17:23
標(biāo)題:
半導(dǎo)體烘箱的維護(hù)工作
半導(dǎo)體烘箱的維護(hù)工作
一、潔凈至上：防塵與清潔
無塵室級清潔
每日用防靜電無塵布擦拭箱體外表面，禁用纖維脫落材質(zhì)
內(nèi)腔清潔需在停機(jī)狀態(tài)下進(jìn)行，使用半導(dǎo)體專用清潔劑（如IPA）
每月深度清潔風(fēng)道濾網(wǎng)，更換周期不超過3個(gè)月
防污染隔離
加載物料時(shí)啟用層流罩，避免外部顆粒侵入
箱門密封條每月涂覆硅脂，確保密閉性（壓縮量≤15%）
二、半導(dǎo)體烘箱溫度精控：校準(zhǔn)與驗(yàn)證
三級校準(zhǔn)體系
每日開機(jī)自檢：核對儀表顯示與實(shí)際傳感器偏差
每周多點(diǎn)校準(zhǔn)：使用RTD探頭檢測腔體上中下三層溫差（≤±1.5℃）
年度計(jì)量溯源：送第三方實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)溫控模塊
熱分布驗(yàn)證
每季度進(jìn)行空載熱分布測試，繪制三維溫度場圖
滿載驗(yàn)證時(shí)加入模擬晶圓負(fù)載，確保邊緣與中心溫差＜3℃
三、安全護(hù)航：風(fēng)險(xiǎn)防控
雙重過熱保護(hù)
主控溫控器+機(jī)械式超溫保護(hù)器串聯(lián)配置
加熱元件表面溫度監(jiān)測，超過設(shè)定值80%立即切斷電源
靜電防護(hù)
箱體接地電阻＜4Ω，接地線采用24K鍍金端子
物料架使用抗靜電PVC材質(zhì)，表面電阻10^6-10^9Ω
[attach]1988[/attach]
作者:
棉花娃娃
時(shí)間:
2025-11-28 03:08
同意樓主的看法，這個(gè)解決方案很實(shí)用。
作者:
魔幻劍客
時(shí)間:
2025-12-1 08:00
謝謝樓主毫無保留的分享，讓我們在工作中多了參考依據(jù)～
作者:
記號印記
時(shí)間:
昨天 18:58
說得很在理，我會(huì)借鑒你的觀點(diǎn)。
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