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• 標(biāo)準(zhǔn)壓力計(jì)：用于提供標(biāo)準(zhǔn)壓力值，其精度應(yīng)不低于被檢真空度測(cè)試儀的測(cè)量范圍。
• 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)：用于提供標(biāo)準(zhǔn)真空度值，其精度同樣應(yīng)不低于被檢真空度測(cè)試儀的測(cè)量范圍。
• 電源及穩(wěn)壓器：為真空度測(cè)試儀提供穩(wěn)定的電源。
• 數(shù)據(jù)采集與分析系統(tǒng)：用于采集真空度測(cè)試儀的測(cè)量數(shù)據(jù)，并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析。
  

• 溫度：檢定應(yīng)在溫度穩(wěn)定的環(huán)境中進(jìn)行，一般要求溫度波動(dòng)不超過±2℃。
• 濕度：相對(duì)濕度應(yīng)不大于70%（或根據(jù)不同儀器要求調(diào)整，有的儀器要求≤80%RH）。
• 振動(dòng)：檢定場(chǎng)所應(yīng)無明顯的振動(dòng)源，保證真空度測(cè)試儀不受振動(dòng)影響。
• 電磁干擾：檢定場(chǎng)所應(yīng)無強(qiáng)電磁干擾源，以免影響儀器正常工作。
  

• 準(zhǔn)備階段：
  • 檢查檢定設(shè)備是否齊全、完好，確認(rèn)環(huán)境條件滿足要求。
  • 根據(jù)被檢真空度測(cè)試儀的型號(hào)和測(cè)量范圍，選擇合適的標(biāo)準(zhǔn)壓力計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)。
    
• 連接與設(shè)置：
  • 將標(biāo)準(zhǔn)壓力計(jì)、標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)與被檢真空度測(cè)試儀相連接，確保密封良好。
  • 按照真空度測(cè)試儀的使用說明，正確設(shè)置儀器參數(shù)。
    
• 測(cè)量與記錄：
  • 啟動(dòng)真空度測(cè)試儀，記錄標(biāo)準(zhǔn)壓力計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的壓力值或真空度值。
  • 重復(fù)進(jìn)行至少3次測(cè)量，以獲得可靠的測(cè)量結(jié)果。
    
• 數(shù)據(jù)處理：
  • 根據(jù)測(cè)量數(shù)據(jù)，計(jì)算真空度測(cè)試儀的示值誤差、重復(fù)性和線性誤差等參數(shù)。
    
  
  

• 判定：根據(jù)測(cè)量數(shù)據(jù)，計(jì)算真空度測(cè)試儀的各項(xiàng)誤差參數(shù)。若誤差在允許范圍內(nèi)，則判定為合格；否則，判定為不合格。
• 調(diào)整與復(fù)檢：對(duì)不合格的真空度測(cè)試儀進(jìn)行調(diào)整或維修后，需重新進(jìn)行檢定。
  

• 在檢定過程中，應(yīng)始終保持儀器連接的密封性，防止外界氣體滲入影響測(cè)量結(jié)果。
• 在操作過程中，應(yīng)注意避免對(duì)儀器產(chǎn)生過大的沖擊和振動(dòng)，以免損壞儀器內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
• 對(duì)于具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的真空度測(cè)試儀，應(yīng)按照使用說明進(jìn)行操作，以保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
• 在數(shù)據(jù)處理時(shí)，應(yīng)充分考慮測(cè)量數(shù)據(jù)的離散性，避免誤差的積累。同時(shí)，應(yīng)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚脱a(bǔ)償，以提高測(cè)量結(jié)果的可靠性。
  

• 儀器存放：真空度測(cè)試儀應(yīng)存放在干燥、清潔、通風(fēng)的環(huán)境中，避免受潮、腐蝕和振動(dòng)。
• 定期校準(zhǔn)：為確保測(cè)量結(jié)果的長(zhǎng)期準(zhǔn)確性，建議定期對(duì)真空度測(cè)試儀進(jìn)行校準(zhǔn)。