干式螺桿真空泵工作原理

manwu1211

干式螺桿真空泵是一種無油潤滑的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化工、制藥等行業(yè)，特別適合處理易燃、易爆、腐蝕性氣體。其工作原理基于一對(duì)相互嚙合但不接觸的螺旋形轉(zhuǎn)子（螺桿）的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，具體過程如下：  
進(jìn)氣階段：當(dāng)螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，位于泵入口處的空間體積逐漸增大，形成低壓區(qū)，外界氣體被吸入泵內(nèi)。  
壓縮階段：隨著螺桿繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體被封閉在兩個(gè)螺桿之間的腔室內(nèi)，并沿著螺桿軸向移動(dòng)。在這個(gè)過程中，由于螺桿的嚙合，腔室的體積逐漸減小，氣體被壓縮，壓力升高。  
排氣階段：當(dāng)氣體被壓縮至足夠高的壓力時(shí)，到達(dá)泵的出口位置，此時(shí)出口處的閥門開啟（對(duì)于無閥設(shè)計(jì)的泵，則是自然流出），被壓縮的氣體被排出泵外，完成一個(gè)工作循環(huán)。  
干式螺桿真空泵的關(guān)鍵特點(diǎn)是其內(nèi)部無油操作，因此不會(huì)污染被抽氣體，同時(shí)具有較高的抽速和較低的極限壓力，能有效處理各種復(fù)雜工況下的氣體。此外，干式螺桿真空泵還具有結(jié)構(gòu)緊湊、運(yùn)行平穩(wěn)、維護(hù)簡便等優(yōu)點(diǎn)。

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謝謝你的見解，讓我對(duì)這個(gè)問題有了新的理解。

李小狼

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點(diǎn)擊123

這篇文章的邏輯性很強(qiáng)，讓人一目了然，很有啟發(fā)性。