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膜厚儀測(cè)試原理

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發(fā)表于 2025-6-9 11:11:31 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
  膜厚儀的測(cè)試原理主要有幾種不同類型,常見(jiàn)的包括光學(xué)法(反射法)、磁感應(yīng)法、X射線熒光法和超聲波法等,每種方法根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景和膜層材料有不同的原理。以下是幾種主要原理的簡(jiǎn)要說(shuō)明:
  1. 光學(xué)法(反射法)
  光學(xué)法是膜厚測(cè)試儀中常見(jiàn)的原理,尤其是在半導(dǎo)體和涂層行業(yè)中。其原理基于光的干涉現(xiàn)象,通常使用白光或者激光。
  原理:膜層對(duì)光的反射會(huì)發(fā)生干涉,通過(guò)測(cè)量從膜層表面和基底反射回來(lái)的光的相位差,來(lái)計(jì)算膜層的厚度。膜層越厚,干涉條紋的位置就會(huì)發(fā)生變化。
  適用范圍:適用于透明或半透明的薄膜,例如玻璃涂層、光學(xué)涂層等。
  2. 磁感應(yīng)法
  磁感應(yīng)法主要用于金屬膜層的厚度測(cè)量,尤其是在電鍍和涂層行業(yè)。
  原理:通過(guò)感應(yīng)膜層和基材之間的磁場(chǎng)變化來(lái)估算膜層的厚度。當(dāng)膜層存在時(shí),磁場(chǎng)的穿透性會(huì)發(fā)生變化,儀器通過(guò)測(cè)量這一變化來(lái)計(jì)算膜的厚度。
  適用范圍:主要用于磁性基材上的非磁性膜層,如金屬鍍層。
  3. X射線熒光法(XRF)
  X射線熒光法適用于測(cè)量多層膜或復(fù)雜涂層的厚度。
  原理:通過(guò)向膜層發(fā)射X射線,當(dāng)X射線撞擊到膜層時(shí),會(huì)激發(fā)膜層內(nèi)的元素產(chǎn)生熒光,膜層的厚度與其所產(chǎn)生的熒光強(qiáng)度相關(guān)。通過(guò)分析熒光信號(hào),可以反推膜層的厚度。
  適用范圍:適用于多層膜、多種元素存在的膜層厚度測(cè)量,廣泛應(yīng)用于電子、汽車、航空等行業(yè)。
  4. 超聲波法
  超聲波法通常用于較厚的膜層,特別是在金屬或其他硬質(zhì)基材上的膜層厚度測(cè)量。
  原理:膜厚儀發(fā)射超聲波信號(hào),通過(guò)測(cè)量信號(hào)從膜層表面反射回來(lái)所需的時(shí)間,計(jì)算膜層的厚度。聲速與材料特性相關(guān),通過(guò)已知材料的聲速可以計(jì)算膜厚。
  適用范圍:適用于厚膜、金屬膜層以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的膜厚測(cè)量。

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發(fā)表于 2025-11-8 00:12:31 | 只看該作者
同意樓上觀點(diǎn),說(shuō)得很有道理!
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  • TA的每日心情

    2024-7-29 18:57
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    [LV.1]初來(lái)乍到

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    發(fā)表于 7 天前 | 只看該作者
    有趣的話題,我也想分享我的想法。
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