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氧氮分析儀能測粗硅氧含量嗎

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發(fā)表于 2025-8-28 16:45:17 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
  可以,但需要特別注意,并且通常不是最理想的**方法。
  氧氮分析儀(通常指脈沖加熱惰性氣體熔融-紅外/熱導(dǎo)法分析儀)是測量金屬(如鋼鐵、銅、鈦)和部分無機材料中微量氧和微量氮含量的權(quán)威儀器。它的原理是將樣品在高溫石墨坩堝中熔化,釋放出氧和氮,然后分別用紅外檢測器(測氧)和熱導(dǎo)檢測器(測氮)進行定量分析。
  將這種方法應(yīng)用于粗硅,存在以下幾個關(guān)鍵點和挑戰(zhàn):
  1、高溫需求:硅的熔點非常高,達(dá)到1414°C。要有效熔融粗硅并釋放其內(nèi)部的氧,需要分析儀能夠提供遠(yuǎn)超此溫度的加熱能力。現(xiàn)代高端的氧氮分析儀工作溫度可達(dá)2000℃甚至3000℃,這在技術(shù)上是可以實現(xiàn)的。
  2、助熔劑的選擇:為了幫助熔融、促進氧的釋放并獲得準(zhǔn)確的峰形,通常需要在石墨坩堝中加入助熔劑。對于硅樣品,通常需要與高純鎳囊或錫囊等助熔劑包裹后一起投入,以降低有效熔化溫度并確保反應(yīng)完全。
  3、最大的挑戰(zhàn):硅本身的揮發(fā)性:在高溫下,硅具有很高的蒸氣壓,意味著它會劇烈揮發(fā)。這種揮發(fā)會帶來幾個嚴(yán)重問題:
  污染爐體與管路:硅蒸氣會凝結(jié)在儀器較冷的部位,污染整個加熱爐和排氣系統(tǒng),嚴(yán)重影響后續(xù)分析的準(zhǔn)確度和儀器的穩(wěn)定性。
  分析結(jié)果不準(zhǔn):劇烈的揮發(fā)會干擾脈沖加熱過程,可能導(dǎo)致氣體釋放不完全或峰形異常,從而影響積分計算的準(zhǔn)確性。
  4、校準(zhǔn)與標(biāo)樣:要獲得準(zhǔn)確結(jié)果,必須使用與待測粗硅基體匹配、氧含量已知的標(biāo)準(zhǔn)樣品進行校準(zhǔn)。尋找或制備這類標(biāo)準(zhǔn)樣品本身也是一項挑戰(zhàn)。
  結(jié)論與建議:
  可以測量:理論上,使用高性能的氧氮分析儀,通過優(yōu)化分析參數(shù)(如功率控制)、使用合適的助熔劑(如鎳囊),并小心控制樣品量(減少揮發(fā)影響),是可以對粗硅中的氧含量進行測量的。
  但需謹(jǐn)慎:由于存在污染儀器的巨大風(fēng)險,許多分析實驗室會避免直接用氧氮分析儀測量硅等易揮發(fā)材料。如果一定要做,通常會使用一臺專用的氧氮分析儀,以避免交叉污染其他類型的樣品(如金屬)。
  更常見的替代方法:測量硅中氧含量更常用、更專業(yè)的方法是**傅里葉變換紅外光譜法(FTIR)。這種方法無需熔化樣品,而是利用氧原子在硅晶格中形成的特定紅外吸收峰進行定量,無揮發(fā)污染風(fēng)險,是半導(dǎo)體和太陽能級硅材料行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)方法。
  總結(jié):氧氮分析儀能測粗硅氧含量,但存在污染儀器的風(fēng)險,對儀器性能和操作技巧要求高。對于常規(guī)分析,F(xiàn)TIR是更安全、更常用的選擇。

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發(fā)表于 前天 08:22 | 只看該作者
我覺得這篇文章的結(jié)構(gòu)很清晰,邏輯性很強,寫得非常好。
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