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擴(kuò)散泵多少度可以關(guān)機(jī)

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發(fā)表于 2024-11-25 11:34:21 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
擴(kuò)散泵多少度可以關(guān)機(jī)?
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    發(fā)表于 2024-11-25 11:40:28 | 只看該作者
    擴(kuò)散泵在高真空系統(tǒng)中通常用于實(shí)現(xiàn)超高真空,廣泛應(yīng)用于物理實(shí)驗(yàn)、材料處理、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。擴(kuò)散泵的工作溫度通常需要保持在較高的水平,以確保其能夠有效地工作。擴(kuò)散泵在工作時(shí)通常維持在150°C至250°C之間,關(guān)機(jī)時(shí)建議溫度降至 100°C 以下 后再停止操作。為了保護(hù)設(shè)備,避免過(guò)快的降溫和過(guò)早的關(guān)機(jī)。在具體操作時(shí),參考設(shè)備廠商的技術(shù)手冊(cè)進(jìn)行正確的操作。
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    發(fā)表于 2024-11-25 11:49:52 | 只看該作者
    擴(kuò)散泵的關(guān)機(jī)溫度通常與泵內(nèi)的工作溫度和泵體材料的熱膨脹特性相關(guān)。擴(kuò)散泵一般是在高真空環(huán)境下運(yùn)行的,其工作時(shí)需要加熱油(通常是擴(kuò)散泵油),而油的溫度通常會(huì)達(dá)到 160°C 至 250°C 之間。

    在關(guān)機(jī)時(shí),擴(kuò)散泵的溫度需要降至 低于 100°C,最好在 60°C 至 80°C 范圍內(nèi)關(guān)機(jī)。這是為了避免高溫下油的氧化以及冷卻過(guò)程中可能產(chǎn)生的負(fù)壓或反向氣流,防止擴(kuò)散泵油進(jìn)入泵體或系統(tǒng)中的其他部件。

    具體的關(guān)機(jī)溫度也會(huì)根據(jù)不同的擴(kuò)散泵設(shè)計(jì)和制造商的建議有所不同,建議參考設(shè)備的操作手冊(cè)或技術(shù)資料來(lái)確定最佳的關(guān)機(jī)溫度。
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