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橢偏法測(cè)量薄膜厚度的原理

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發(fā)表于 2024-12-3 16:26:36 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
橢偏法（Ellipsometry）是一種光學(xué)測(cè)量技術(shù)，主要用于測(cè)量薄膜的厚度、折射率以及其他光學(xué)特性。其基本原理基于偏振光與薄膜表面相互作用的變化。  
具體來(lái)說(shuō)，橢偏法利用一束已知偏振狀態(tài)的光（通常是線偏振光）以一定入射角射到薄膜表面。這束光會(huì)在薄膜的各個(gè)界面發(fā)生多次反射和折射，導(dǎo)致光的偏振狀態(tài)發(fā)生變化。通過(guò)測(cè)量反射光的偏振狀態(tài)變化，可以推斷出薄膜的厚度和折射率。  
橢偏法的核心在于分析光的偏振狀態(tài)變化。入射光經(jīng)過(guò)薄膜反射后會(huì)變成橢圓偏振光，這種變化與薄膜的厚度和折射率密切相關(guān)。通過(guò)測(cè)量橢圓偏振光的參數(shù)（如振幅比和相位差），可以建立數(shù)學(xué)模型，擬合出薄膜的厚度和折射率。

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    2024-9-2 08:35

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    發(fā)表于 2024-12-5 04:33:01 | 只看該作者
    您的經(jīng)驗(yàn)分享對(duì)于像我這樣的新手來(lái)說(shuō)太寶貴了，謝謝！
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    發(fā)表于 2024-12-5 09:00:31 | 只看該作者
    真心希望有機(jī)會(huì)能與您深入交流，再次感謝您的精彩分享！
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    2024-8-6 10:32

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    發(fā)表于 2025-11-19 18:17:52 | 只看該作者
    感謝詳細(xì)解釋，我現(xiàn)在完全明白了。
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