薄膜厚度測(cè)量的三種方法

合凈機(jī)械

薄膜厚度測(cè)量的方法有很多，其中常見(jiàn)的三種方法是機(jī)械接觸式測(cè)量、光學(xué)測(cè)量和電學(xué)測(cè)量。  
機(jī)械接觸式測(cè)量：  
這種方法通過(guò)物理接觸來(lái)測(cè)量薄膜的厚度。常用的儀器包括螺旋測(cè)微計(jì)和臺(tái)階儀。螺旋測(cè)微計(jì)通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺桿來(lái)測(cè)量薄膜的厚度，而臺(tái)階儀則通過(guò)接觸探針在薄膜表面滑動(dòng)來(lái)測(cè)量厚度變化。這種方法適用于各種單層薄膜材料，如金屬箔、紙張等。  
光學(xué)測(cè)量：  
光學(xué)測(cè)量方法利用光的干涉、反射和折射原理來(lái)測(cè)量薄膜厚度。常見(jiàn)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器包括橢偏儀和光譜共焦位移傳感器。橢偏儀通過(guò)分析偏振光在薄膜表面的反射變化來(lái)測(cè)量厚度，而光譜共焦位移傳感器則通過(guò)聚焦光束在薄膜表面的位移變化來(lái)測(cè)量厚度。這種方法適用于透明或半透明薄膜，以及對(duì)光學(xué)性能要求較高的薄膜。  
電學(xué)測(cè)量：  
電學(xué)測(cè)量方法通過(guò)測(cè)量薄膜的電學(xué)特性（如電容、電阻等）來(lái)推算其厚度。常見(jiàn)的電學(xué)測(cè)量方法包括電容法和四探針?lè)āｋ娙莘ㄍㄟ^(guò)測(cè)量薄膜的電容變化來(lái)計(jì)算厚度，適用于電介質(zhì)薄膜；四探針?lè)▌t通過(guò)測(cè)量薄膜的電阻來(lái)推算厚度，適用于導(dǎo)電薄膜。  
這三種方法各有優(yōu)缺點(diǎn)，選擇哪種方法取決于薄膜的材料特性、厚度范圍以及所需的測(cè)量精度。

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蟹蟹

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