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數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 Alicat的MC系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可通過(guò)定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥 精確測(cè)量與控制過(guò)程氣體的質(zhì)量流量體積流量和壓力,還可同時(shí)測(cè)量并顯示 氣體溫度 對(duì)安裝方向不敏感。美國(guó)ALICAT-MC系列質(zhì)量流量控制器提供總體的用戶(hù)支持,包括技術(shù)咨詢(xún) 快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和質(zhì)保。 美國(guó)艾里卡特MC系列質(zhì)量流量控制器 標(biāo)準(zhǔn)精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS 有效范圍0.5- 內(nèi)置90-130條氣體曲線(xiàn)可選 響應(yīng)速度100MS 多種數(shù)字信號(hào)可選 美國(guó)ALICAT-MC系列質(zhì)量流量控制器性能參數(shù) 性能/參數(shù) | MC系列質(zhì)量流量控制器 | 流量范圍 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等 | 標(biāo)定氣體 | 內(nèi)置90條氣體可選擇 | 精度(調(diào)零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) | 高精度(調(diào)零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM | 重復(fù)性 | ±0.2%FS | 漂移(零點(diǎn)/滿(mǎn)量程) | 0.02% F.S/oC/Atm | 工作范圍 | 0.5- | 響應(yīng)時(shí)間 | 100毫秒(調(diào)整) | 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間 | 1秒內(nèi) | 標(biāo)準(zhǔn)工況 | 25oC & 14.696 psia,可自定義修改 | 工作溫度范圍 | -10~-50℃(另有高溫訂制品) | 工作濕度范圍 | 0-RH(非冷凝) | 工作壓力 | 10Bar | 安裝方向 | 任意 | 閥門(mén)狀態(tài) | 常閉 | 材質(zhì) | SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON | 顯示屏 | 背光LCD顯示屏,同時(shí)顯示流量、壓力、溫度 |
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