半導(dǎo)體烘箱的維護工作

乾潮制造

半導(dǎo)體烘箱的維護工作
一、潔凈至上：防塵與清潔  
無塵室級清潔  
每日用防靜電無塵布擦拭箱體外表面，禁用纖維脫落材質(zhì)  
內(nèi)腔清潔需在停機狀態(tài)下進行，使用半導(dǎo)體專用清潔劑（如IPA）  
每月深度清潔風(fēng)道濾網(wǎng)，更換周期不超過3個月  
防污染隔離  
加載物料時啟用層流罩，避免外部顆粒侵入  
箱門密封條每月涂覆硅脂，確保密閉性（壓縮量≤15%）  
二、半導(dǎo)體烘箱溫度精控：校準(zhǔn)與驗證  
三級校準(zhǔn)體系  
每日開機自檢：核對儀表顯示與實際傳感器偏差  
每周多點校準(zhǔn)：使用RTD探頭檢測腔體上中下三層溫差（≤±1.5℃）  
年度計量溯源：送第三方實驗室校準(zhǔn)溫控模塊  
熱分布驗證  
每季度進行空載熱分布測試，繪制三維溫度場圖  
滿載驗證時加入模擬晶圓負(fù)載，確保邊緣與中心溫差＜3℃  
三、安全護航：風(fēng)險防控  
雙重過熱保護  
主控溫控器+機械式超溫保護器串聯(lián)配置  
加熱元件表面溫度監(jiān)測，超過設(shè)定值80%立即切斷電源  
靜電防護  
箱體接地電阻＜4Ω，接地線采用24K鍍金端子  
物料架使用抗靜電PVC材質(zhì)，表面電阻10^6-10^9Ω

棉花娃娃

同意樓主的看法，這個解決方案很實用。

魔幻劍客

謝謝樓主毫無保留的分享，讓我們在工作中多了參考依據(jù)～

記號印記

說得很在理，我會借鑒你的觀點。