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臺階儀測薄膜厚度原理

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樓主
發(fā)表于 2024-8-28 15:21:26 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
臺階儀是一種用于測量薄膜厚度的精密儀器,主要通過檢測樣品表面高度的變化來確定薄膜的厚度。其基本原理可以概括為以下幾個步驟:

接觸式測量:通常采用一個非常尖銳的探針(如金剛石探針)輕輕地接觸樣品表面,并沿著樣品表面掃描。
高度變化檢測:當探針從基底移動到薄膜覆蓋的區(qū)域時,會因為薄膜的存在而產(chǎn)生高度上的變化。臺階儀能夠精確測量這種高度差。
數(shù)據(jù)采集與分析:儀器記錄下探針位置和對應的高度值,并通過內(nèi)置軟件計算出薄膜的厚度。
非破壞性:整個測量過程不會損壞樣品,適用于各種材料和厚度范圍。
臺階儀特別適用于測量厚度均勻性、臺階高度以及薄膜與基底之間的界面特性等參數(shù),在半導體制造、光學涂層和其他微納米技術(shù)領域有著廣泛的應用

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沙發(fā)
發(fā)表于 2024-9-15 15:31:23 | 只看該作者
哈哈,看來大家對這個話題都很感興趣呢,我也來湊個熱鬧。
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  • TA的每日心情
    開心
    2024-7-30 16:37
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    [LV.1]初來乍到

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    發(fā)表于 2024-9-16 14:47:06 | 只看該作者
    樓上,角度新穎,看得我眼前一亮!
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  • TA的每日心情
    擦汗
    2024-7-31 13:15
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    [LV.2]偶爾看看I

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    發(fā)表于 2024-9-18 18:14:56 | 只看該作者
    你的帖子很有幫助,我們將認真對待這些信息。期待你更多的分享。
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