氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障處理辦法

ninali

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高精度、高靈敏度的檢漏設(shè)備，廣泛應(yīng)用于航空航天、半導(dǎo)體、制冷系統(tǒng)等領(lǐng)域。然而，在使用過程中，由于各種原因，氦質(zhì)譜檢漏儀可能會(huì)遇到各種故障。  
常見故障及處理方法  
一、氦質(zhì)譜檢漏儀界面上TMP顯示“0”，即分子泵未工作  
故障現(xiàn)象：分子泵未啟動(dòng)，TMP顯示“0”。  
故障原因：  
1.前級(jí)壓力過高（啟動(dòng)壓力應(yīng)小于200Pa）。  
2.真空規(guī)管有問題。  
3.分子泵出口未打開。  
4.機(jī)械泵油太臟或機(jī)械泵未轉(zhuǎn)動(dòng)。  
5.系統(tǒng)有泄漏。  
6.分子泵葉片或轉(zhuǎn)子損壞。  
7.電路板保險(xiǎn)絲燒斷或短路。  
處理方法：  
1.檢查并調(diào)整前級(jí)壓力。  
2.檢查真空規(guī)管是否正常。  
3.確保分子泵出口打開。  
4.更換機(jī)械泵油或檢查機(jī)械泵是否正常工作。  
5.檢查系統(tǒng)是否有泄漏點(diǎn)。  
6.自行用工具撥動(dòng)分子泵葉片，判斷其是否能轉(zhuǎn)動(dòng)。  
7.檢查并更換電路板保險(xiǎn)絲，檢查是否有短路現(xiàn)象。  
二、燈絲無法正常啟動(dòng)  
故障現(xiàn)象：機(jī)械泵和分子泵正常工作，但燈絲無法發(fā)射離子流。  
故障原因：  
1.離子源損壞。  
2.離子源航空插座與接線柱開路。  
處理方法：  
1.更換離子源。  
2.檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路則更換燈絲或消除短路現(xiàn)象。  
三、本底信號(hào)過高或不穩(wěn)定  
故障現(xiàn)象：本底信號(hào)高于正常范圍或波動(dòng)較大。  
故障原因：  
1.環(huán)境本底被污染。  
2.質(zhì)譜室被污染。  
3.泵油吸附氦氣過多。  
4.電源電壓不穩(wěn)定。  
處理方法：  
1.檢查實(shí)驗(yàn)室內(nèi)是否有氦源泄漏，通風(fēng)降低環(huán)境本底。  
2.檢查泵油是否渾濁或吸附氦氣過多，必要時(shí)更換泵油。  
3.將檢漏儀送至維修中心清洗質(zhì)譜室。  
4.檢查電源電壓是否穩(wěn)定，使用穩(wěn)壓電源。  
四、靈敏度低  
故障現(xiàn)象：檢漏靈敏度低，無法檢測(cè)到微小泄漏。  
故障原因：  
1.質(zhì)譜室壓力未達(dá)到要求。  
2.離子源被污染。  
處理方法：  
1.等待質(zhì)譜室壓力降至10^-6MPa以下再進(jìn)行檢漏。  
2.檢查并清洗離子源。  
五、氦本底太高  
故障現(xiàn)象：檢漏時(shí)氦本底信號(hào)過高。  
故障原因：  
1.機(jī)械泵油失效。  
2.儀器系統(tǒng)有泄漏。  
3.真空管路污染。  
4.環(huán)境污染。  
處理方法：  
1.更換機(jī)械泵油。  
2.檢查儀器系統(tǒng)是否有泄漏，修復(fù)泄漏點(diǎn)。  
3.清洗真空管路。  
4.在檢漏口安裝氣瓶，減少環(huán)境氦污染。  
六、檢漏鍵無效  
故障現(xiàn)象：按檢漏鍵無反應(yīng)。  
故障原因：  
1.燈絲未啟動(dòng)或斷裂。  
2.I/O短接插頭未插入。  
處理方法：  
1.檢查燈絲是否啟動(dòng)，若未啟動(dòng)則更換燈絲。  
2.確保I/O短接插頭已插入儀器后面插座。

卓凱儀表

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艾克佐迪亞

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mt_zz

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