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臺階儀工作原理

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發(fā)表于 2024-10-14 13:08:00 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最后由 煙火里的塵埃 于 2024-10-14 13:16 編輯

  臺階儀測薄膜厚度的原理主要基于光的干涉現(xiàn)象。以下是基本原理和工作流程:
  1. 原理
  當光線照射到薄膜表面時,會在薄膜的頂部和底部產(chǎn)生反射。兩束反射光之間會因為光程差而發(fā)生干涉,形成明暗相間的干涉條紋。
  2. 測量步驟
  1. 光源發(fā)射:臺階儀內(nèi)置的光源(通常是激光)發(fā)出單色光,照射到薄膜上。
  2. 反射光的干涉:
  光線在薄膜的上表面和下表面反射,形成兩條反射光路徑。
  這兩條光的相位差決定了干涉條紋的形成。
  3. 計算光程差:通過分析干涉條紋,可以得到光程差。
  4. 數(shù)據(jù)處理:測得的干涉條紋信息可以通過計算機進行分析,從而精確計算出薄膜的厚度。
  3. 優(yōu)勢
  高精度:能夠測量微米級甚至納米級的薄膜厚度。
  非接觸測量:避免對薄膜造成任何物理損傷,適合脆弱材料。
  4. 應用
  臺階儀廣泛應用于半導體工業(yè)、光電器件、涂層技術等領域,用于質(zhì)量控制和研發(fā)。
  通過上述原理和步驟,臺階儀可以有效地測量薄膜的厚度,為相關領域提供重要的數(shù)據(jù)支持。

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沙發(fā)
發(fā)表于 2024-10-14 14:23:23 | 只看該作者
當光線照射到薄膜表面時,會在薄膜的頂部和底部產(chǎn)生反射。兩束反射光之間會因為光程差而發(fā)生干涉,形成明暗相間的干涉條紋。
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發(fā)表于 2024-10-23 20:09:46 | 只看該作者
這個問題很有代表性,很多人都關心。
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